Вакуумдук компоненттер

Жылуулук менен дарылоо негизинен кычкылдануу, диффузия жана күйүү процесстерин камтыйт.Кычкылдануу – бул кремний пластинкалары жогорку температурадагы мешке салынып, алар менен реакцияга кислород кошулуп, пластинанын бетинде кремний диоксидин пайда кылуучу кошумча процесс.Диффузия молекулалык жылуулук кыймылы аркылуу заттарды жогорку концентрациялуу аймактан төмөн концентрациялуу аймакка жылдыруу болуп саналат, ал эми диффузия процесси кремний субстратында белгилүү бир допингдик заттарды допинг үчүн колдонулушу мүмкүн, ошону менен жарым өткөргүчтөрдүн өткөргүчтүгү өзгөрөт.